默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目拟环评审批公示

序号

项目
名称

建设
地点

建设
单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

公众参与情况

1

默克电子科技（张家港）有限公司年产165吨半导体前驱材料及150万升电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目

张家港保税区扬子江国际化学工业园北京路与渤海路交叉口东南侧地块

默克电子科技（张家港）有限公司

苏州清泉环保科技有限公司

默克电子科技（张家港）有限公司年产 165 吨半导体前驱材料及 150 万升

电子特气纯化分装及危险化学品仓储项目，本次新建项目拟建区域为张家港市北京路与渤海路交叉口东南方向地块，厂区用地面积约 45790.04m2（约 68.9亩），拟新建 5 座甲类仓库、甲类危废库、SPG 甲类生产厂房、TF 甲类生产厂房、1 座甲类剧毒库、公用工程站、废水处理池、消防泵房及消防水池、办公楼、氮气罐及门卫、控制室、焚烧区域等，产品为 165 吨半导体前驱材料， 包括 100 吨硅烷 A 以及 65 吨硅烷 B，150 万升电子特气（乙硼烷）以及 16 余种危险化学品的仓储经营，生产原料为硅烷 A、硅烷 B、乙硼烷等；主要工艺

流程为纯化、提纯工艺。根据调研可知，该产品具有良好的市场前景。

（1）废气

项目半导体前驱材料生产和电子特气乙硼烷混配气生产过程中产生的工 艺废气以及实验室分析废气、仓储废气可执行《大气污染物综合排放标准》

（DB32/4041-2021），其中工艺中涉及挥发性有机物排放可参照执行《化学工业挥发性有机物排放标准》（DB32/3151-2016）。电子特气工艺废气乙硼烷执行制定标准，因乙硼烷目前无国家检测方法，目前废气排放参照执行《化学工业挥发性有机物排放标准》（DB32/3151-2016）非甲烷总烃的标准；厂区焚烧炉不焚烧含卤素的化合物，采用天然气助燃，天然气燃烧废气产生的颗粒物、氮氧化物、二氧化硫执行《大气污染物综合排放标准》（DB 32/4041-2021）表1、表 3 标准；丙酮、臭气浓度参照执行江苏省地方标准《化学工业挥发性有机物排放标准》（DB32/3151-2016）标准。

（2）废水

本项目含氮磷生产废水经处理后均回用于生产，新增的生活污水2400t/a、

初期雨水5385t/a 接管至胜科水务进行处理。

（3）噪声

建设项目产噪设备，采用隔声、减振等措施有效治理后距离衰减后可确保

厂界噪声值符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的 3 类标准限值，即昼间≤65dB(A)、夜间≤55dB(A)，本项目对厂区周围环境不会造成明显的噪声影响。

（4）固废

本项目产生的固废均委托相应的有资质的单位处理，不会产生二次污染的问题，不会对环境造成污染和不良影响。

已按规范进行